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產(chǎn)品資料
潔凈環(huán)境使用的離子棒
產(chǎn)品型號：5635 (M)
產(chǎn)品廠商：
簡介：

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅，和精準的離子平衡，是設計用于有嚴格要求的超高潔凈半導體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術 - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標表面，這突破的技術使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi)。同時配合超高潔凈的靜電針和**的參數(shù)調(diào)整，使它達到超越 ISO Class 1 潔凈水平的 “Extended ISO Class 1”潔凈度，適合更微小的先進技術制程。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環(huán)境，能加快離子的推送，得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。 Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術能容易設置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時，靜電針的間距

產(chǎn)品參數(shù)

         產(chǎn)品型號

         5635 (M)

         工作電壓

         24 VDC ±10%

         輸出電壓

         13.5kV p-p (max)，可調(diào)

         工作距離

         由15cm至100cm，根據(jù)應用需求或客戶規(guī)格決定

         脈沖定頻

         由1Hz至33Hz，可調(diào)，默認設定-5 Hz

         平衡電壓

         自動平衡系統(tǒng)，在可控環(huán)境下，整根棒能長期保持在 <±20V @61 cm 工作距離。

         電離技術

         調(diào)制脈沖 (MP) 技術

         靜電針材質(zhì)

         單晶硅

         風嘴間距

         可選 50 mm 或 75 mm；棒長 450 mm 和 600 mm 只可選 50 mm

         工作效能

         15 秒 (典型)，Vp-p 擺幅 - 80 Vp-p @ (沒有吹氣輔助，在棒中下面 61 cm 工作距離)

         符合潔凈度

         兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或納米等級微粒) 和 ISO 14644-
         1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的潔凈度 (輸出功率：45-50%)

         供氣要求

         CDA (清潔干燥壓縮空氣) 或 氮氣

         氣壓要求

         45 psi (*大)；由選配的8mm外徑快速接口接入，每個風嘴輸出1-3.5litre/min的風量

         臭氧產(chǎn)生

         <0.05 ppm


         EMI 

          低于背景水平

         操作環(huán)境

         15-35℃，30-60% RH，無冷凝

         設      定

           DIP 開關設定電源輸入選擇，有可調(diào)電位器微調(diào)操作參數(shù) - 正負平
        衡，工作頻率，功率輸出，也可以序列埠輸出連接電腦軟件作調(diào)整

         封     裝

        ABS chassis, 棒上不銹鋼長條作回饋

         體     積

           78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350L mm

         型號5601電源分配盒

        輸入電壓

        24 VDC 提供給一組 4 根棒，組內(nèi)每個端口*多需要 0.7A 電流；總電流要求 5.6A

        通      信

        以太網(wǎng) (RJ-45) 接連電腦；個別離子棒的待機輸入

        警報輸出

        繼電接點連地

        輸出端口

        8個RJ-45 端口，每根棒接一個端口

       LED 顯示

       電源 - 綠，通信 - 黃，警報 - 紅，LAN 通信 - 藍

       重       量

       0.42 kg

       體       積

       3.1H x 16.0L x 9.2W cm








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